6英寸碳化硅单晶 衬底成功自主研制
近日,中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室(筹)先进材料与结构分析实验室团队成功研制出了6英寸碳化硅(SiC)单晶衬底。据悉,碳化硅属于第三代半导体材料,是制造高亮度LED、电力电子功率器件以及射频微波器件的理想衬底。 据新华社 |
近日,中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室(筹)先进材料与结构分析实验室团队成功研制出了6英寸碳化硅(SiC)单晶衬底。据悉,碳化硅属于第三代半导体材料,是制造高亮度LED、电力电子功率器件以及射频微波器件的理想衬底。 据新华社 |